024-89773888
024-89773888
 
热门搜索：           镀膜机             工具镀膜机              镀膜设备
产品中心
PRODUCT  CENTER
首页 ∷ 百乐真空技术 ∷ PVD镀膜设备 ∷ 装饰镀膜机

装饰镀膜机
    发布时间: 2021-02-17 14:10    
装饰镀膜机

装饰镀镀膜机
采用AIP电弧离子镀和中频磁控溅射技术
磁控靶：同轴定向圆柱靶或平面靶
获得更高镀膜质量，更好的表面光洁度、膜层致密性、耐腐蚀性等




技术参数：
真空室内尺寸：φ1350x1500
                      φ1600x1350

极限真空度：5×10-4Pa

空恢时间：大气抽到6.7×10-3Pa≤20min

压升率：≤0.5Pa/h

占地空间：L3.9×W4.8×H2.5m3

装机容量：约300Kw


主要配置：

弧源：6/8/10/14套（φ95小弧源）

离子源：霍尔离子源（选配）

中频磁控阴极：4对（选配）

使用温度：200~350℃

工件架：行星公自转结构

真空室冷却方式：水套、水槽冷却

控制方式：PLC/触摸屏控制

进气控制：4路

脉冲偏压：40KW

弧电源：160/200A


真空系统配置：

高真空泵：F-3600分子泵   
               或 KT-600扩散泵

预抽泵： 2XT-70旋片泵   
              RTO-300罗茨泵   

维持泵：2XT-70旋片泵 或 2XT-30旋片泵 


公司所生产的真空镀膜机均采用触摸屏和PLC计算机自动控制系统。系统分为手动和自动两种控制方式，可随时任意切换。对设备的运行参数进行实时监控显示，保证了涂层质量的重复性。设备均设有完备的互锁保护和报警功能，控制系统存储器可储存多套工艺参数，免除了每次切换工艺，工艺人员都需要重新输入工艺参数的工作。