024-89773888
首页
集团旗下
金百乐太阳能热水器
荣誉资质
产品中心
案例展示
新闻动态
企业招聘
客户留言
联系我们
024-89773888
名称
描述
内容
热门搜索:
镀膜机
工具镀膜机
镀膜
设备
产品中心
PRODUCT CENTER
首页
∷
百乐真空技术
∷
PVD镀膜设备
∷
工具镀膜机
工具镀膜机
发布时间: 2021-02-17 13:50
工具镀膜机
PVD1050-8型多弧离子镀膜机是专门为工具(功能)镀膜应用开发的计算机自动控制离子镀膜机,适用于切屑刃具、模具等镀膜生产,可获得更好的膜层质量和耐蚀性能等。
设备可在450~500℃高温下长期稳定的运行
配置离子源清洗,加装挡板,实现离子轰击清洗,辅助沉积
配有步进电机驱动转架,实现精确定位,转架可拉出便于装卸工件
配有φ155大弧源,特点:膜层组织细腻,颗粒小,先进的电磁扫描磁场,弧斑运动速度更快、实现高效溅射。
4纵列弧源配置,可沉积2种不同材料膜系且膜层均匀。
宽水道加强设计,超强刚性,炉体水冷效果好。
高端配置:
莱宝真空单级泵SV200
霍廷格脉冲偏压36KW
弧电源(IGBT模块)
莱宝高真空分子泵 MAG2200
VAT气动插板阀
英福康CDG045D薄膜规
德国BERKERT宝得气体质量流量计8711型
三菱FX系列PLC逻辑控制器及功能模块
技术参数:
真空室内尺寸:φ1050x1200
极限真空度:5x10-4Pa
空恢时间:大气抽到6.7x10-3Pa≤20min
压升率:≤0.5Pa/h
占地空间:L3.6×W3.3×H2.5m3
装机容量:约180KW
主要配置:
弧源:φ155大弧源,8套
离子源: 霍尔离子源或大功率弧光柱型离子源
加热方式:盘管式加热器,分区加热
工件架:下转架,行星公自转结构,采用交流伺服电机驱动
控制方式:PLC/触摸屏控制
脉冲偏压:40KW
弧电源:200A
主要膜层:TiN ALTiN TiAlSIN TiCN
AlCrN CrN DLC(选配)
真空系统配置:
高真空泵:F-3600分子泵
预抽泵:RTO-300 罗茨泵
2XT-70旋片泵
上一个:
无
下一个:
PVD-DLC镀膜机